ного числа дискретных значений влажности, ограниченный температурный диапазон, пределы которого определяются температурами кипения и замерзания используемого раствора при данном давлении, а также большая длительность достижения равновесной влажности. Кроме того, некоторые неудобства связаны с необходимостью замены раствора для перехода к новому значению влажности

Для обеспечения правильной работы и надлежащей точности необходимы определенные предосторожности. Камера и ее узлы должны изготовляться из негигроскопических материалов; термостатирование камеры должно минимизировать температурные градиенты в ней. Для уменьшения длительности переходных процессов максимально увеличивают отношение площади поверхности раствора к объему воздуха в камере и создают интенсивное перемешивание или циркуляцию- этого воздуха. Испытуемые в камере изделия не должны нарушать гигротермического равновесия выделением или поглощением тепла или влаги.

При условии правильного построения и эксплуатации солевых гигростатов с их помощью можно получать парогазовые смеси с абсолютной погрешностью, не превышающей ±1% относительной влажности. -

Примерами солевых гигростатов могут служить установки, разработанные в СКВ аналитического приборостроения {Л. 11-12]. Стационарный гигростат с полезным объемом 0,3 построен на базе климатической камеры и позволяет получать относительную влажность 30- 85%. Переносный гигростат предназначен для поверки, гигрометрических "датчиков непосредственно в условиях эксплуатации. В гигростате отсутствует система термостатирования; вентилятор перемешивает воздух в рабочем объеме. Установление температурно-влажностного режима длится 30-90 мин в зависимости от температуры и влажности окружающего воздуха.

Значительно реже, чем растворы солей, применяют водные растворы серной кислоты. Их основным недостатком является агрессивность; иногда эти растворы оказывают разрушающее действие на объекты испытаний и вспомогательную аппаратуру. Было также установлено, что при гигротермическом увлажнении некоторых полупроводниковых материалов над растворами H2SO4 имела место адсорбция молекул кислоты на поверхности

Таблица 11-2

Массовая концентрация (масса H2SO4 на 100 г раствоза),%

Плотность раствора пэиго-С,

Относительная влажность воздуха, %. при температуре, °С

25 30 35 40 45 50 55 60 65 70

1.0661 1,1394 1,1783 1,2185 .1,2599 1,3028 1,3476 1,3951 1,4453 1,4983 1,5533 1,6105

95,9 87,8 81,8 73,8 64,6 54.2 44.0 33,6 23,5 14,6 7,8

95,6 88,0 82,4 75,0 66.0 56,1 45.6 35,2 25,3 16,1 9,2 3,4

95.6 88,0 S2.5 75,2 66,3 56.5 46,1 35,7 25.8 16.6 9.7 3,7

95,6 88.0 82.6 75,4 66.6 56,9 46.6 36,2 26,3 17.1 10.1 4.1

95,6 88,2 83,1 76,2 67.9 58,5 48.5 38.3 28.5 19,0 11.8 5.4

95.6 88.5 83,6 77,2 69.5 60,5 50.8 41,0 31,1 21,4 14,0 7.2

твердого вещества. В табл. 11-2 [Л. 11-13] приведены данные о растворах H2SO4; в цитируемой работе содержатся также данные о водных растворах глицерина, нашедших более ограниченное применение.

Генераторы влажности двухтемператур-ные и на принципе двух давлений представляют собой динамические системы, в которых циркулирует единый поток воздуха.

Воздух насыщается в увлажнителе (сатураторе) при определенных значениях температуры и давления; до поступления в рабочую камеру изменяют один из этих параметров без изменения абсолютной влажности воздуха и, таким образом, получают заданное значение относительной влажности.

Принцип устройства двухтемпературного генератора показан на рис. 11-3,а. Основными частями установки являются насыщающий увлажнитель 1 и рабочая камера 2, термостатируемые в жидкостных ваннах термостатов 3 w 4\ непрерывную циркуляцию воздуха в замкнутой системе 1-2 создает воздушный насос 5. При условии, что воздух полностью насыщается в увлажнителе при температуре t, повышение его температуры до 4 создает в рабочей камере относительную влажность

где Ей Ег - упругости насыщенного пара при температурах соответственно.1 и 4.

Если полные давления в увлажнителе (pi) и рабочей камере (рг) неодинаковы, формула для определения ф принимает вид:

Бг Pi

(11-2)

Известны различные способы реализации описанного принципа. В установке НБЭ для регулирования темпера-

С

/ 2 3

Рис. 11-3. Блок-схемы генераторов влажности.

a - двухтемпературного; б - на принципе двух давлений; е - со смешением двух потоков воздуха.

туры рабочей камеры вместо термостата применены электрические нагреватели потока воздуха. Для получения нескольких значений ф использовались установки с несколькими сатураторами, термостатируемыми при